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我委支持建设的上海光源用户研究成果入选2020年“科创中国”先导技术榜单

发布时间:2021/03/29
来源:高技术司
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  上海光源是由国家发展改革委批复建设的国家重大科技基础设施。该装置是性能位于国际前列的第三代中能同步辐射光源,是上海科技创新中心和张江综合性国家科学中心的重要组成部分。

  近日,上海光源用户研发成果“极紫外光刻胶”入选中国科协2020年“科创中国”先导技术榜单,成为先进材料领域10项先导技术之一。研发团队开发出具有国际先进水平和完全自主知识产权的极紫外光刻胶,实现了从材料设计到中试生产的全流程,填补了国内技术空白。

  由中科院化学所和中科院理化技术所共同建立的极紫外光刻胶研发团队自2013年起一直利用上海光源进行极紫外光刻胶性能检测评估的工作。用户团队与上海光源团队通力合作,在原有干涉光刻实验站的基础上完成了光刻胶曝光检测装置和产气测试装置的共同研制,建立起极紫外光刻胶敏感度、分辨率、边缘粗糙度及曝光产气等重要指标检测的完整极紫外光刻胶评估检测平台,为极紫外光刻胶的研制成功发挥重要作用。

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